晶硅太阳能电池生产工艺.txt39人生旅程并不是一帆风顺的，逆境 失意会经常伴随着我们，但人性的光辉往往在不如意中才显示出来，希望是激励我们前进的巨大的无形的动力。40奉献是爱心，勇于付出，你一定会收到意外之外的馈赠。 本文由小萝卜123贡献
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晶硅太阳能电池生产工艺
硅太阳能电池制作主要分为两个过程，单晶硅和多晶硅原材料的生产和电池片的制作。 常规晶硅太阳电池组件中，硅片的成本约占 55%~60%，太阳电池制片成本约占 15%~18%， 组件材料及制造成本占约 25%~27% 。 图 1 是单晶硅和多晶硅的生产过程， 多晶硅可以看作是单晶硅的材料。 多晶硅棒直接用 浇注法形成， 单晶硅一般采用直拉法和区域熔化提纯法。 熔铸多晶硅锭比提拉单晶硅锭的工 艺简单，省去了昂贵的单晶拉制过程，也能用较低纯度的硅作投炉料，材料利用率高，电能 消耗较省。同时，多晶硅太阳电池的电性能和机械性能都与单晶硅太阳电池基本相似，而生 产成本却低于单晶硅太阳电池，这也是目前多晶硅太阳能电池得到快速发展的因素。
西门子法 硅 矿 硅矿石 冶金级 流化床法 冶 金 法 多晶硅 多晶硅棒
、
区域熔化提纯 单 晶 硅 直拉单晶硅法
图 1 单晶硅和多晶硅原材料的生产工艺 单晶硅与多晶硅形成以后，就是电池制片工艺。其工艺流程图如图 2 所示。
单晶硅硅棒 单晶硅硅片 硅片清洗 酸碱腐蚀制绒 扩散
封 装
烧 结
丝网印刷电极和背场
镀 膜
酸碱腐蚀制绒 多晶硅硅棒 多晶硅硅片 硅片清洗 机 械 刻 槽 反应离子刻蚀 扩散
封 装
烧
结
丝网印刷电极和背场
镀膜
图 2 单晶硅与多晶硅电池制片工艺流程图 由于单晶硅和多晶硅在物理结构上不一样， 制绒环节不同， 单晶硅主要有酸碱腐蚀形成 绒面，而多晶硅由于晶界、位错、微缺陷等，酸碱腐蚀得到绒面效果不佳，目前多用机械刻 槽，利用 V 形刀在硅表面摩擦以形成规则的 V 形槽；反应离子刻蚀技术，在硅表面沉积一 层镍铬层， 然后用光刻技术在镍铬层上印出织构模型， 接着就用反应离子刻蚀方法制备出表
面织构，在硅表面制备出圆柱状和锥状织构，制成绒面，费用极高。
1本文由小萝卜123贡献
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晶硅太阳能电池生产工艺
硅太阳能电池制作主要分为两个过程，单晶硅和多晶硅原材料的生产和电池片的制作。 常规晶硅太阳电池组件中，硅片
的成本约占 55%~60%，太阳电池制片成本约占 15%~18%， 组件材料及制造成本占约 25%~27% 。 图 1 是单晶硅和多晶硅的生产过程， 多晶硅可以看作是单晶硅的材料。 多晶硅棒直接用 浇注法形成， 单晶硅一般采用直拉法和区域熔化提纯法。 熔铸多晶硅锭比提拉单晶硅锭的工 艺简单，省去了昂贵的单晶拉制过程，也能用较低纯度的硅作投炉料，材料利用率高，电能 消耗较省。同时，多晶硅太阳电池的电性能和机械性能都与单晶硅太阳电池基本相似，而生 产成本却低于单晶硅太阳电池，这也是目前多晶硅太阳能电池得到快速发展的因素。
西门子法 硅 矿 硅矿石 冶金级 流化床法 冶 金 法 多晶硅 多晶硅棒
、
区域熔化提纯 单 晶 硅 直拉单晶硅法
图 1 单晶硅和多晶硅原材料的生产工艺 单晶硅与多晶硅形成以后，就是电池制片工艺。其工艺流程图如图 2 所示。
单晶硅硅棒 单晶硅硅片 硅片清洗 酸碱腐蚀制绒 扩散
封 装
烧 结
丝网印刷电极和背场
镀 膜
酸碱腐蚀制绒 多晶硅硅棒 多晶硅硅片 硅片清洗 机 械 刻 槽 反应离子刻蚀 扩散
封 装
烧
结
丝网印刷电极和背场
镀膜
图 2 单晶硅与多晶硅电池制片工艺流程图 由于单晶硅和多晶硅在物理结构上不一样， 制绒环节不同， 单晶硅主要有酸碱腐蚀形成 绒面，而多晶硅由于晶界、位错、微缺陷等，酸碱腐蚀得到绒面效果不佳，目前多用机械刻 槽，利用 V 形刀在硅表面摩擦以形成规则的 V 形槽；反应离子刻蚀技术，在硅表面沉积一 层镍铬层， 然后用光刻技术在镍铬层上印出织构模型， 接着就用反应离子刻蚀方法制备出表
面织构，在硅表面制备出圆柱状和锥状织构，制成绒面，费用极高。
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