１０．３７２４／ＳＰ．Ｊ． １１８７．２０１１．００７１１
用于ＦＡＩＭＳ系统的微电流检测电路
闫书江１
，３王帆２杨涛１唐飞２王晓浩２
１．西南科技大学信息工程学院，绵阳６２１０１０；２．清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京１０００８４；３．重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室，重庆４０００３０
摘要：为解决电容积分式电流检测法不能满足ＦＡＩＭＳ快速测量要求的问题，设计了一种用于ＦＡＩＭＳ系统的微电流检测电路。该设计运用Ｉ／Ｖ电阻反馈法对信号进行放大。通过屏蔽和滤波等设计，有效地降低了ＦＡＭＩＳ系统对检测电路的高频电磁干扰。考虑到前端电路的噪声来源，采用合理的元器件和电路设计，运用两级放大将ＦＡＩＭＳ系统中的ｐＡ级电流放大并转换到ｍＶ量级。通过采集卡，利用ＬａｂＶＩＥＷ对测得的电流信号进行采集和数据处理。实验结果表明，该电路的测量精度优于０．１ ｐＡ，采样频率高于１５ Ｈｚ。进行了ＦＡＩＭＳ系统实验，测得系统输出的背景噪声为０．２ ｐＡ。以乙醇为实验样品，在载气（Ｎ２）流量为０．８Ｌ／ｍｉｎ的情况下，得到了乙醇的ＦＡＩＭＳ谱图，证明了该微电流检测电路可用于ＦＡＩＭＳ系统。
ＦＡＩＭＳ；微电流检测；电阻反馈法；放大电路；ＬａｂＶＩＥＷ
ＴＭ９３
Ａ
Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ ｍｉｃｒｏ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ｃｉｒｃｕｉｔ ｆｏｒ ＦＡＩＭＳＹａｈ ＳｈｕｊｉａｎｇＴａｎｇ ＦｅｉＷａｎｇ ＸｉａｏｈａｏＷａｎｇ ＦａｎＹａｎｇ Ｔａｏ
２０１０－０８－０１
国家自然科学基金（编号：６０７０６０３０）资助项目；国家自然科学基金仪器专项（编号：２０８２７００７）资助项目。
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第２５卷
第８期
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第２５卷
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闫书江：男，西南科技大学在读硕士研究生，研究方向：微弱信号检测。
唐飞：博士，清华大学精仪系讲师，主要研究方向为精密测量和控制技术、微系统设计和工艺等。
Ｅ－ｍａｉｌ： ｔａｎｇｆ＠ ｍａｉｌ．ｔｓｉｎｇｈｕａ．ｅｄｕ．ｃｎ
用于FAIMS系统的微电流检测电路
作者：作者单位：
闫书江， 唐飞， 王晓浩， 王帆， 杨涛， Yah Shujiang， Tang Fei， Wang Xiaohao， Wang Fan， Yang Tao
闫书江,杨涛,Yah Shujiang,Yang Tao(西南科技大学信息工程学院,绵阳,621010)， 唐飞,王帆,Tang Fei,WangFan(清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;)， 王晓浩,Wang
Xiaohao(清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室,重庆400030)
电子测量与仪器学报
Journal of Electronic Measurement and Instrument2011,25(8)
刊名：英文刊名：年，卷(期)：
本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_dzclyyqxb201108009.aspx