三坐标测量仪
以下内容来自中国仪器超市网www.cimart.com.cn 三坐标测量仪的原理及使用：
原理：三次元量测仪可定义为：一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统(如光学尺) 经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(x,y,z)及各项功能量测的仪器。其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire 条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。
操作： 1、量测前准备：
(a)检查空气轴承压力是否足够 (b)安装工件 2、测头选择及安装：
(a)将适当之测头装于Z 轴承接器
(b)检视Z 轴是否会自动滑落(否则应调整红色压力平衡调整阀) ( c)锁定各轴之适当位置 3、量测操作： (a)开启处理机电源 (b)启开打印机开关
(c)参考操作手册，选择所需功能之指令 (d)进行量测，并读出量测值 4、完成后注意事项： (a)Z轴移至原来位置后，锁定 (b)X,Y轴各移至中央，锁定 (c)关电源及压力阀 (d)取下测头
(e)并作适当的保养
形状公差介绍-三坐标检测基础知识： 圆度
图1给出了表示圆度的符号，两个同心圆间的区域作为规定的公差带（见图2），在图
1轮廓线必须在两个带宽为0.038mm 的同心圆之间，
在检测时可以用圆度仪或用
三坐标测量机；应用圆度仪时旋转零件，传感器与零件表面接触，记录相对于理想圆的偏差；三坐标测量机将绕圆周表面接触许多点，并用圆来拟合这些数据然后评价圆度。两种方法均用过滤器，重要的是所有卷入生产过程的人均要同意所采用的过滤方法；采点的密度应反应出加工过程中的典型形状误差。
图1 圆度符号
图2 圆度定义
直线度
图3给出了表示直线度的符号，两个包容平行线间的区域作为规定的直线度公差(见图4），在检测时可以用千分表与其他的基本测量工具一起进行测量，或用三坐标测量机在表面上测线。
图
3 直线度符号
图4 直线度定义
平面度
图5给出了表示平面度的符号，两个包容平行面间的区域作为规定的平面度公差（见图6）在检测时可以用平面度测量设备，如光学平镜、精密水平仪或千分表与其他的基本测量工具一起进行测量，或用三坐标测量机在表面上测点阵。
图5 平面度符号
图6
平面度定义
圆柱度
图7给出了表示圆柱度的符号，两个同心圆柱间的区域作为规定的圆柱度公差，被测圆柱必须被此二圆柱包容（见图8），在检测时可以用圆度仪或用坐标测量机按一定的点阵测量。
图7 圆柱度符号
图8 圆柱度定义
轮廓度
轮廓度是一种控制非规则表面、
线、弧或一般表面的表示；轮廓度可应用于线段或零件的整个表面，轮廓度公差定义了一个沿着真实轮廓的均匀的两个边界，真实轮廓必须包容其中；测量可以用千分表、样件及其他基本测量工具来完成，如轮廓投影仪、轮廓测量仪器及其他测量设备，亦可以用三坐标测量机。
图9 轮廓度符号
轮廓度公差可以是双向或单向的，此取决于箭头线相对名义尺寸的方向和公差带（图10）
图10 轮廓度公差可以是双向或单向的
图10的左侧显示了线轮廓的公差带总是在两条线之间，此二条线由一组直径为t 的圆的公切线形成，此组圆的中心在名义轮廓线上。 三坐标测量同轴度的方法：
3．用
三坐标测量同轴度的方法
对于基准圆柱与被测圆柱（较短）距离较远时不能用测量软件直接求得，通常用公共轴线法。
在被测元素和基准元素上测量多个横截面的圆，再将这些圆的圆心构造一条3D 直线，作为公共轴线，每个圆的直径可以不一致，然后分别计算基准圆柱和被测圆柱对公共轴线的同轴度，取其最大值作为该零件的同轴度。这条公共轴线近似于一个模拟心轴，因此这种方法接近零件的实际装配过程。
图11 线轮廓公差
在图11中粗实线(实际轮廓线) ，位于圆的公切线形成的公差带内，用虚线表示的圆中心线表示了理想轮廓。