浅谈压力传感器的发展
[摘 要]在信息社会里，人们为了促进社会生产力的向前发展，需要用传感器来检测许多非电量信息，如压力、流量等等。从气压计等简单的指示测量到航空航天等特殊条件和环境下的高可靠、高精度压力监测控制，其关键部件的压力传感器起决定性作用。 中图分类号：tp212文献标识码：a 文章编号：1009-914x （2013）21-0000-00
1 引言
传感器技术是当代信息社会的重要技术基础，当代信息技术系统的功能和质量由传感器的数量、质量直接决定。电子技术、大规模集成电路技术等新技术的发展，都为研制新一代传感器提供了便利的条件。目前应用极为普遍的测量和控制仪器必须用的元器件就是压力传感器。随着微电子技术的发展，医疗卫生、工业监控、航空航天等各个领域都能用到硅压力传感器[1]。
2 国内压力传感器的发展状况
2.1 多晶硅高温压力传感器
国内很多大学都研制出了如图1-1所示压力传感器结构，下图是一个高温压力传感器，衬底为单晶硅片，生长一层sio2，再用lpcvd 淀积一层未掺杂的多晶硅薄膜，然后进行硼离子注入掺杂，再经过干法刻蚀形成4个多晶硅电阻。室温输出灵敏度为8.39mv/kpa；在0～6mpa 压力范围内，输出非线性小于1. 38%，迟滞优于0.098%；在室温至400℃范围内，电阻温度系数为0.089%/℃，灵敏度温度