福建江夏学院
《传感器技术》实验报告
姓名 班级 学号 实验日期 课程名称 传感器技术 指导教师 成绩
实验名称：扩散硅压力传感器（MPX ）实验
一、实验目地：
1. 掌握扩散硅压阻式传感器的工作原理 2. 了解扩散硅压阻式传感器的电路连接 二、实验原理：
MPX 压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X 型的等值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性好，其工作原理及实验接线如图（22）
（图22）
本实验中所用的压阻式传感器为差压式，无外加压力时电路平衡输出出，受压时则输出与压力大小成正比的电压信号。 三、实验环境：
MPX 压力传感器，公共电路模块（三）、气压源、胶管、电压表 四、实验步骤：
1、连接主机与实验模块的电源线及探头连接线，胶管连接气源输出与压力传感器输入口（传感器另一接口感受大气压力）。
2、开启主机电源，调节电桥WD 调平衡电位器，使实验模块输出为零，开启气源开
关，逐步加大气压，观察随气压上升模块电压输出的变化情况。
3、待到气压相对稳定后，调节模块增益使输出电压值与气压值成一比例关系，并记录P （p ）值与Vmv 值。
在坐标上作出V-P 曲线，验证传感器的线性度与灵敏度。 注意事项：
如果无法通过WD 调零，可以在B 和地之间并联一个电阻，用以调整电桥。气源平时应关闭，以免影响其它电路工作，胶管尽量避免油污，以免造成老化破损