真空断路器具有很多优点，所以在变电站上应用很多。由于采用了特殊的真空元件，随着近年来制造水平的提高，灭弧室部分的故障明显降低。真空灭弧室无需检修处理，当其损坏时，只能采取更换。真空断路器运行中发生的故障以操作机构部分所占比重较大，其次为一次导电部分，触头导电杆等。下面对真空断路器常发生的故障进行分析和处理，有如下几个方面：
1.真空度降低
运行中真空断路器灭弧室的真空度低于6.6x10-2pa，新出厂的真空灭弧室低于7.5x10-4pa，即为不合格，造成真空度降低的原因有：真空灭弧室漏气，主要是焊缝不严密或密封部位存在微小漏孔造成。
真空灭弧室内部金属材料含气释放，这种情况是在真空灭弧室最初几次放电过程中使真空度在一段时间内下降，微量气体排尽后，真空度就维持在一定水平上。
常用检查真空度的方法：
①火花计法：这种方法简单，只可做定性检查，让火花计触丝在开关管表面移动，观察管内发光情况，若是淡青色，可判定真空度合格，若为红蓝色，可判断灭弧室已失效，此种方法不适用于陶瓷外壳灭弧室。
②观察开断电流时的弧光，正常应为淡青色，若弧光为紫红色可判断灭弧室已失效。
③工频耐压法：对于10KV真空开关管在断口加42KV1min工频电压应合格。
④真空度测试仪法处理方法：真空度降低后应更换真空灭弧室。
2.灭弧室触头电磨损
真空灭弧室触头接触面经过多次开断电流后，会逐渐被磨损烧灼(通常称为电磨损)，触头厚度减小波纹管行程变大，接触电阻增大，这对开关的灭弧性能和导电性能会产生不利影响，在检修中开关超行程的变化就是触头的电磨损。当电磨损值达到厂家规定时，灭弧室就不能继续使用。电磨损可用检查灭弧室动导电杆伸出导相板长度的变化情况，如果变化量超出了3mm，即磨损严重，也可用定性的方法即测量接触电阻，一般要求测量值不大于出厂值的1.2倍。处理方法：触头电磨损严重，达到或超过规定值时，必须更换真空管，并三相一同更换。如未超规定或接触电阻明显增大但未超规定值时，可对触头间隙进行调整后继续使用。但应测灭弧室的真空度，如灭弧室不满足要求，也应该更换。
3.真空断路器拒分的原因及查找方法
3.1电气回路故障
①直流电压过低；
②操作保险及掉闸回路元件接触不良或短线；
③掉闸线圈断线；
④开关低电压不合格；
⑤小车或开关连锁接点接触不良。
3.2机械回路故障
①三连板三点过低；
②掉闸顶杆卡劲或脱落；
③合闸缓冲偏移、滚轮及缓冲杆卡劲。查找方法：电动掉闸失灵时，应先判断是电气回路故障还是机械回路故障，当顶杆铁心不动，则说明是掉闸回路，否则是机械回路故障，然后再进一步找出原因。当发现开关掉闸失灵时应以手动托开。
4.真空断路器拒合且出现跳跃的原因及处理方法
4.1电磁操作机构的合闸铁心顶杆长度不够，应调整铁心顶杆长度使其滚轮和托架之间间隙符合2±0.5mm的要求。
4.2辅助开关断开过早，此时调整辅助开关拉杆长度使其在断路器触头闭合之后再断开。
4.3弹簧储能操作机构合闸弹簧限位不可靠、合闸不到位，合闸弹簧储能结束，但电机电位不能切断。
5.弹簧储能开关合不上闸
5.1合闸簧功率不够，更换合闸簧。
5.2开关合闸时处于半分半合状态，调整凸轮与滚轮间隙使之增大，调整超程使之减小。